发明名称 判定装置、基板検査装置および判定方法
摘要 【課題】プローブ部を移動させる際の各プローブ部同士の干渉の有無を的確に判定する。【解決手段】一対のプローブ部の移動時における干渉の有無を判定する処理部を備え、処理部は、各プローブ部の輪郭および基準点(プローブピンの先端部の位置)を示す2つの図形のうちの一方のプローブ部の図形を反転した第2図形の基準点を他方のプローブ部の図形の輪郭に沿って移動させて描かれる第3図形を拡大させた第4図形を想定し、各プローブ部が各移動開始点Pia,Pibを同時に出発して各被接触点Pca,Pcbに同時に到着するように各プローブ部を個別の一定速度で直線的に移動させる第1移動制御を実行する際の他方のプローブ部に対する一方のプローブ部の相対的な移動軌跡Lmと、基準点Pseが移動開始点Piaに位置しているときの第4図形との位置関係に基づいて第1移動制御の実行時における各プローブ部同士の干渉の有無を判定する。【選択図】図11
申请公布号 JP2017044513(A) 申请公布日期 2017.03.02
申请号 JP20150165457 申请日期 2015.08.25
申请人 日置電機株式会社 发明人 小河原 豪
分类号 G01R31/28;G01R31/02;H05K3/00 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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