摘要 |
【課題】プローブ部を移動させる際の各プローブ部同士の干渉の有無を的確に判定する。【解決手段】一対のプローブ部の移動時における干渉の有無を判定する処理部を備え、処理部は、各プローブ部の輪郭および基準点(プローブピンの先端部の位置)を示す2つの図形のうちの一方のプローブ部の図形を反転した第2図形の基準点を他方のプローブ部の図形の輪郭に沿って移動させて描かれる第3図形を拡大させた第4図形を想定し、各プローブ部が各移動開始点Pia,Pibを同時に出発して各被接触点Pca,Pcbに同時に到着するように各プローブ部を個別の一定速度で直線的に移動させる第1移動制御を実行する際の他方のプローブ部に対する一方のプローブ部の相対的な移動軌跡Lmと、基準点Pseが移動開始点Piaに位置しているときの第4図形との位置関係に基づいて第1移動制御の実行時における各プローブ部同士の干渉の有無を判定する。【選択図】図11 |