| 摘要 |
【課題】半導体装置の品質を確保しつつ、再検査工程を実行する。【解決手段】検査装置は、半導体装置を識別する識別情報を半導体装置から検出する検出部と、半導体装置を検査し、検査した当該検査結果と識別情報とを対応付けて記憶部に記憶させる検査部と、検出部が検出した識別情報に基づいて、半導体装置に対して過去に検査が実行されているか否かを判定し、過去に検査が実行されている場合に、記憶部が記憶する識別情報に対応する検査結果に基づいて、検査部が検査する検査項目のうち、過去に検査した検査項目と重複する検査項目の少なくとも１つを除外した再検査を検査部に実行させる制御部とを備える。【選択図】図１ |
