| 摘要 |
【課題】従来よりも結合を強めて、電力を有効利用できる誘導結合型のプラズマ生成装置を提供する。【解決手段】プラズマ生成装置において、トロイダル形状の放電空間を有する導体製のチャンバであって、トロイダル方向の一部を絶縁するための絶縁ギャップ１１ａが設けられているチャンバ１と、高周波電流を出力する高周波電源３と、絶縁ギャップ１１ａを挟むようにして、チャンバ１に高周波電源３を接続する接続線４とを備えるようにした。高周波電源３が出力した高周波電流が、チャンバ１をトロイダル方向に流れ、チャンバ１のトロイダルの中心を貫く磁束が変化する。磁束の変化により、チャンバ１の内側の放電空間をトロイダル方向にプラズマ電流が流れる。高周波電流が流れる経路の内側にプラズマ電流が流れる経路があり、両経路は近接して、両経路の中心軸がほぼ同じである。したがって、漏れ磁束を減少させることができ、結合を強めることができる。【選択図】図１ |
