細孔径評価装置および細孔径評価方法

摘要

【課題】多孔質材料の細孔径評価に要する手間と時間を削減する。【解決手段】第１表面および第２表面を有し、第１表面と第２表面とを連通させる細孔を有する多孔質な被検体を保持するホルダと、第１表面で細孔と連通するとともに、ガス供給口およびガス排出口を具備する第１チャンバと、ガス供給口に混合ガスのサンプルを供給するガス供給部と、第２表面で細孔と連通するとともに、細孔を通過して混合ガスから分離された透過ガスが導入される第２チャンバと、第２チャンバから第１経路を介して導入される透過ガスの組成を測定する測定部と、を具備する、細孔径評価装置。【選択図】図２