| 摘要 |
【課題】基板上の着液領域において所定の膜厚を有する保護液膜を確保しつつ、保護液の使用量を抑制可能な基板処理装置および吐出ヘッドを提供する。【解決手段】筒状部材５０の下方開口５１が水平面視において第１着液領域５５および第２着液領域６５を内包し、下方開口５１が隙間１０１を隔てて基板Ｗの上面に近接している。そして、筒状部材５０が保護液ノズル６から供給される保護液を堰き止めることによって、第１着液領域５５上に保護液の第１液膜６３が形成され、第１液膜６３の膜厚は第２液膜６４の膜厚よりも厚くなる。したがって、第１着液領域５５上に確実に所定膜厚の第１液膜６３を形成することができ、また、洗浄処理における保護液の使用量を削減することができる。【選択図】図６ |
