| 发明名称 |
Verfahren und Prozessieranordnung |
| 摘要 |
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren (100) Folgendes aufweisen: Bereitstellen eines Substrats (102), welches eine Molybdänschicht (104) aufweist; Prozessieren der Molybdänschicht (104) mittels einer Glimmentladung (106). |
| 申请公布号 |
DE102015117448(A1) |
申请公布日期 |
2017.03.02 |
| 申请号 |
DE201510117448 |
申请日期 |
2015.10.14 |
| 申请人 |
VON ARDENNE GmbH |
发明人 |
Smolke, Matthias;Neumann, Karsten;Löhnert, Johannes;Dsaak, Torsten;Barthel, Knut;Rehn, Stanley |
| 分类号 |
C23C14/02;C23C14/56;H01L21/365;H01L31/18 |
主分类号 |
C23C14/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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