Polierkopf und Poliervorrichtung

摘要

Die Erfindung betrifft einen Polierkopf sowie eine Poliervorrichtung zur Verwendung mit diesem Polierkopf, wobei der Polierkopf mit einem ringförmigen starren Ring, einer Gummifolie, die an den starren Ring mit einer gleichförmigen Spannung geklebt ist, einer Mittelplatte, die mit dem starren Ring verbunden ist und zusammen mit der Gummifolie und dem starren Ring einen Raumabschnitt bildet, und einer ringförmigen Schablone, die konzentrisch mit dem starren Ring in einem peripheren Abschnitt auf einem Unterseitenabschnitt der Gummifolie bereitgestellt ist und einen Außendurchmesser aufweist, der größer als ein Innendurchmesser des starren Rings ist, ausgestattet ist, bei welchem ein Druck des Raumabschnitts durch einen Druckeinstellmechanismus verändert werden kann, eine Rückseite eines Werkstücks auf dem Unterseitenabschnitt der Gummifolie gehalten wird und eine Oberfläche des Werkstücks in gleitenden Kontakt mit dem auf einer Drehscheibe befestigten Polierkissen gebracht wird, um ein Polieren auszuführen, und ein Innendurchmesser der Schablone kleiner als ein Innendurchmesser des starren Rings ist und ein Verhältnis zwischen einer Innendurchmesserdifferenz zwischen dem starren Ring und der Schablone und einer Differenz zwischen dem Innendurchmesser und einem Außendurchmesser der Schablone 26% oder mehr und 45% oder weniger beträgt. Dadurch können ein Polierkopf und dergleichen bereitgestellt werden, die dauerhaft konstante Flachheit erzielen können.