基板移載システム及び基板移載方法

摘要

主面に基板が搭載される基板搭載領域が定義された基板プレートを有するサンプルホルダと、真空吸着によって基板を保持する基板保持パッドを有し、基板保持パッドに保持した状態で基板を移動させる基板移動装置と、サンプルホルダからの基板の回収時に、基板保持パッドに保持された状態で基板搭載領域に搭載された基板と基板搭載領域との境界に第１の剥離用気体を噴射する第１の気体噴射装置とを備える。