受発光素子およびこれを用いたセンサ装置

摘要

基板と、基板の第１面に設けられた複数の発光素子と、基板の第１面の側に設けられたフォトダイオードである第１受光素子とを備え、複数の発光素子は、第１方向に配置されて発光素子列を構成し、第１受光素子は、発光素子列の一方端側に配置されており、基板および複数の発光素子と、基板および第１受光素子とはそれぞれ一体的に形成されている。よって、小型でセンシング性能が高く、応答速度が速い受発光素子およびセンサ装置が実現できる。