| 摘要 |
【課題】支持ガラスからガラスフィルムを短時間で破損することなく剥離可能とするガラスフィルムの製造方法およびガラスフィルムの剥離方法を提供する。【解決手段】電子デバイス製造関連処理後のガラスフィルム積層体１をガラスフィルム１１と支持ガラス１２とに分離する工程において、直線状の刃先４ｂを有し、該刃先４ｂに形成された噴出口４ｃ・４ｃ・・・から流体４１を噴出可能に構成される楔体４を用いて、ガラスフィルム積層体１におけるガラスフィルム１１と支持ガラス１２との界面１３に、刃先４ｂ側から楔体４を挿入し、その後、噴出口４ｃ・４ｃ・・・から流体４１を噴出させつつ、刃先４ｂを界面１３における未剥離部側に変位させるようにガラスフィルム積層体１と楔体４の相対位置を変更して、支持ガラス１２からガラスフィルム１１を剥離する。 |
