基板処理装置のメンテナンス方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、及び基板処理装置のメンテナンスプログラム

摘要

基板を保持した第１の基板保持具を処理室内へ搬入し、前記第１の基板保持具に保持した基板を、前記処理室内で処理する第１の処理工程と、基板を保持した第２の基板保持具を前記処理室内へ搬入し、前記第２の基板保持具に保持した基板を、前記処理室内で処理する第２の処理工程と、前記第１の基板保持具及び前記第２の基板保持具の交換時期を判定する判定工程と、前記判定工程で判定された前記交換時期において、前記第１の基板保持具及び前記第２の基板保持具の少なくとも一方の基板保持具が前記交換時期に達したら、前記第１及び第２の基板保持具を、それぞれ第３及び第４の基板保持具と交換するメンテナンス工程と、を備えるように基板処理装置のメンテナンス方法を構成する。