ＳｉＯＸ粉末製造法及びＳｉＯＸ粉末製造装置

摘要

リチウムイオン二次電池の負極活物質及びガスバリアフイルムの蒸着材料として用いられるＳｉＯX粉末を連続的に安価に製造する。金属Ｓｉ粉末とＳｉＯ2粉末との混合造粒粉末をプラズマ炎で加熱溶融させる工程と、加熱溶融された混合造粒粉末の溶融液滴を加熱炉で気化させてＳｉＯX化反応を行わせる工程と、生成されたＳｉＯXガスを不活性ガスで急冷却してＳｉＯX微粉末を析出させる工程とを有する。