| 摘要 |
【課題】多角形基板にめっきされる膜の面内均一性を向上させる。【解決手段】アノードを保持するように構成されるアノードホルダと、多角形基板を保持するように構成される基板ホルダと、前記アノードホルダ及び前記基板ホルダを収容して、前記アノード及び前記基板をめっき液に浸漬するためのめっき槽と、前記アノードと前記基板との間に流れる電流を制御するための制御装置と、を有する。前記基板ホルダは、前記多角形基板の各辺に沿って配置される複数の給電部材を有する。前記制御装置は、前記複数の給電部材に少なくとも２つの異なる値の電流が同時に供給されるように、電流を制御し得るように構成される。【選択図】図２ |
