| 摘要 |
【課題】クリーンルーム内部または製造装置内部の汚染を抑制するファンフィルターユニットを提供する。【解決手段】ファンモーターユニット２とチャンバー３とチャンバー吐出口３ｂに設けられたケミカルフィルター６とケミカルフィルター６の下流側に設けられた粉塵捕集フィルター４とを備えるファンフィルターユニット１であって、ケミカルフィルター６をチャンバー３内部に配置することにより、クリーンルーム内部または製造装置内部に搭載しても、クリーンルーム内部または製造装置内部の汚染を抑制できるファンフィルターユニット１を提供できる。【選択図】図２ |
