レーザ装置、及び極端紫外光生成システム

摘要

【課題】高出力のレーザ光を得る。【解決手段】入射される直線偏光のレーザ光の偏光方向と略一致する方向の偏光軸を有する第１の偏光デバイスと、第１の偏光デバイスの偏光軸の方向に略一致する方向の偏光軸を有する第２の偏光デバイスと、対向方向が第１の偏光デバイスの偏光軸の方向に略一致するように対向配置された一対の放電電極を含み、第１の偏光デバイスと第２の偏光デバイスとの間に配置されたレーザ増幅器とを備えてもよい。【選択図】図３