摘要 |
弾性波装置(1)は、圧電基板(10)と、IDT電極(11)と、配線(14)と、パッド(20)と、アンダーバンプメタル(18)と、第1の誘電体層(15)と、第2の誘電体層(16)と、を有している。IDT電極(11)の少なくとも一部は第1の導電膜(41)により構成され、配線(14)の少なくとも一部は第1の導電膜(41)と第2の導電膜(42)とを有する積層体により構成され、パッド(20)の少なくとも一部は第2の導電膜(42)により構成されている。第2の誘電体層(16)は、第2の導電膜(42)とアンダーバンプメタル(18)との接触領域(C)以外の領域(NC)を覆うように形成されている。そのため、第2の導電膜(42)は第2の誘電体層(16)およびアンダーバンプメタル(18)により覆われ、大気中に露出していない。 |