发明名称 弾性波装置、電子部品、および弾性波装置の製造方法
摘要 弾性波装置(1)は、圧電基板(10)と、IDT電極(11)と、配線(14)と、パッド(20)と、アンダーバンプメタル(18)と、第1の誘電体層(15)と、第2の誘電体層(16)と、を有している。IDT電極(11)の少なくとも一部は第1の導電膜(41)により構成され、配線(14)の少なくとも一部は第1の導電膜(41)と第2の導電膜(42)とを有する積層体により構成され、パッド(20)の少なくとも一部は第2の導電膜(42)により構成されている。第2の誘電体層(16)は、第2の導電膜(42)とアンダーバンプメタル(18)との接触領域(C)以外の領域(NC)を覆うように形成されている。そのため、第2の導電膜(42)は第2の誘電体層(16)およびアンダーバンプメタル(18)により覆われ、大気中に露出していない。
申请公布号 JPWO2015022931(A1) 申请公布日期 2017.03.02
申请号 JP20150531807 申请日期 2014.08.11
申请人 株式会社村田製作所 发明人 三輪 祐司;角居 聖;安田 潤平;菊知 拓;山崎 央
分类号 H03H9/25;H01L21/60;H03H3/08;H03H9/145 主分类号 H03H9/25
代理机构 代理人
主权项
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