发明名称 |
トランジスタ |
摘要 |
本発明は、表面の平滑性が高くかつ簡略化された工程で形成可能なゲート電極を備えたトランジスタを提供することを課題とする。本発明のトランジスタは、基板(11)上にゲート電極(12)、絶縁層(13)、半導体層(14)、ソース電極(15)及びドレイン電極(16)を備え、前記ゲート電極(12)が、下記一般式(1)で表わされるβ−ケトカルボン酸銀を用いて形成されている。 |
申请公布号 |
JPWO2015012107(A1) |
申请公布日期 |
2017.03.02 |
申请号 |
JP20150528220 |
申请日期 |
2014.07.09 |
申请人 |
トッパン・フォームズ株式会社;国立大学法人大阪大学;国立大学法人 東京大学 |
发明人 |
松本 孝典;竹谷 純一 |
分类号 |
H01L29/786;C07C59/185;C07F1/10;H01B5/14;H01L21/28;H01L21/288;H01L29/423;H01L29/49;H01L51/05;H01L51/30;H01L51/40 |
主分类号 |
H01L29/786 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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