| 摘要 |
複数波長の各々で所望の超解像効果を得るために、本発明を例示する構造化照明装置は、複数波長の光を同時又は順次に射出する光源からの射出光束を複数の回折光束に回折する回折部と、前記回折部で回折された前記複数の回折光束による干渉縞を標本面に形成する光学系とを備え、前記光学系は、第１の光学系と、前記複数の回折光束を前記第１の光学系の瞳面又は瞳近傍面の各位置へ集光させる第２の光学系とを含み、前記複数波長に対する前記第２の光学系の倍率特性ｄＹ（λ）は、以下の条件を満たす。（ｆｏ・ｎｗ−ａｆλ／Ｐ） ≦ ｄＹ（λ） ≦ （ｆｏ・ＮＡ −ａｆλ／Ｐ）、ａ＝１（Ｍ＝１、２の場合）、ａ＝２（Ｍ＝３の場合）但し、Ｍは前記回折部が有する周期構造の方向数であり、λは前記複数波長の各々であり、ｄＹ（λ）は、前記複数波長の基準波長をλ０としたとき、基準波長λ０の像高２ｆ・λ０／Ｐと、前記複数波長の各々の波長λの像高２ｆ・λ／Ｐとの差であり、ｆｏは前記第１の光学系の基準波長λ０の焦点距離、ｆは前記第２の光学系の基準波長λ０の焦点距離、Ｐは前記回折部の構造周期、ＮＡは前記第１の光学系の開口数であり、ｎｗは標本の屈折率である。 |
