发明名称 高電圧電源装置及び該装置を用いた質量分析装置
摘要 高電圧の出力電圧Voutを分圧して得た電圧と外部から設定される制御電圧Vcontとの差に応じた指示電圧Vfを求めて正電圧発生部(2)及び負電圧発生部(4)の駆動回路(3、5)にフィードバック制御するループに、制御電圧Vcontに応じた電圧値で指示電圧Vfをクランプする過大オーバーシュート防止部(16)を接続する。極性切換時に電圧発生部(2、4)で生じるオーバーシュートは主に回路定数に依存するため、オーバーシュート量は定格出力時に最適であっても小電圧出力時には過大である。これに対し、この装置では、指示電圧Vfのオーバーシュートが過大オーバーシュート防止部(16)により抑えられるため、小電圧出力時にも迅速に目標電圧に静定させることができる。
申请公布号 JPWO2015011783(A1) 申请公布日期 2017.03.02
申请号 JP20150528048 申请日期 2013.07.23
申请人 株式会社島津製作所 发明人 水谷 司朗
分类号 H02M7/10;H01J49/06;H01J49/26;H02M1/00 主分类号 H02M7/10
代理机构 代理人
主权项
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