光学膜及びその製造方法

摘要

【課題】誘電体多層膜を構成する膜として用いた場合にも、良好な特性を発揮することができる光学膜及びその製造方法を提供する。【解決手段】ＡｌまたはＧａを１〜１８カチオン％含有するチタン複合酸化物からなり、ルチル構造の結晶を含み、波長５５０ｎｍにおける屈折率が２．６４以上であり、表面粗さＲａが１．８ｎｍ以下であることを特徴としている。【選択図】図１