薄膜トランジスタ、ＴＦＴアレイ基板、表示装置、及びその製造方法

摘要

【課題】低コストおよび低環境負荷で作製することができ、半導体膜のエッチングによる膜質の劣化がない、塗布型半導体材料を用いた薄膜トランジスタ、ＴＦＴアレイ基板、及び表示装置を提供する。【解決手段】基板上に第１の方向に延びる少なくとも一対の壁構造体を作製し、ＴＦＴのチャネル形成部分を溝部として、溝部の端部から塗布型半導体材料の溶液を流して半導体膜を形成する。半導体膜をチャネル領域とするＴＦＴを作製し、それを用いて表示装置の画素構造を構成する。【選択図】図１