| 摘要 |
【課題】光源から出力される光の光路内に空間光変調部材が配置された場合であっても、光源の高出力化によるデバイスの製造効率の向上に貢献できる照明光学装置、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。【解決手段】露光装置１１は、露光光源１２から出力された露光光ＥＬをレチクルＲに導く照明光学装置１３を備えている。この照明光学装置１３は、アレイ状に配列された複数の可動マルチミラー２２を備え、各可動マルチミラー２２は、可動する反射面を有する複数の要素ミラーをアレイ状に配列することによりそれぞれ構成されている。また、全ての可動マルチミラー２２は、露光光源１２から出力される露光光ＥＬの光路内にそれぞれ配置されている。【選択図】図１ |
