| 发明名称 | 电容压差传感器及其生产方法 | ||
| 摘要 | 描述了一种简单构建且能低成本生产的压差传感器，其包括第一和第二配对电极(1、3)、布置在两个配对电极(1、3)之间的能导电的盘(5)、第一绝缘层(7)、第二绝缘层(11)、设置在第一配对电极(1)中的凹部(13)以及设置在第二配对电极(3)中的凹部(13)，通过第一绝缘层，盘(5)的外边缘与第一配对电极(1)的外边缘连接以形成第一压力腔(9)，通过第二绝缘层，盘(5)的外边缘与第二配对电极(3)的外边缘连接以形成第二压力腔(9)，通过设置在第一配对电极中的凹部，第一压力腔(9)可以加载以第一压力(p<sub>1</sub>)，通过设置在第二配对电极中的凹部，第二压力腔(9)可以加载以第二压力(p<sub>2</sub>)，该压差传感器的特征在于，盘(5)通过沟槽(17)划分为充当电极的内区域(19)和通过沟槽(17)与内区域电绝缘的外区域(21)，内区域(19)包括布置在两个压力腔(9)之间的测量膜片(15)和环绕测量膜片(15)的、在绝缘层(7、11)的内边缘(25)之间夹紧的边缘区域(23)，并且内区域(19)与其中每个配对电极(1、3)分别形成电容器，该电容器具有依赖于作用到测量膜片(15)上的压差(Δρ)的电容量(C1、C3)。 | ||
| 申请公布号 | CN106471350A | 申请公布日期 | 2017.03.01 |
| 申请号 | CN201580034035.X | 申请日期 | 2015.06.08 |
| 申请人 | 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司 | 发明人 | 拉斐尔·泰伊朋;本杰明·莱姆克 |
| 分类号 | G01L13/02(2006.01)I;G01L9/00(2006.01)I | 主分类号 | G01L13/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 杨靖;车文 |
| 主权项 | 压差传感器，所述压差传感器包括：‑第一配对电极和第二配对电极(1、3)，‑布置在两个配对电极(1、3)之间的能导电的盘(5)，‑第一进行绝缘的层(7)，通过所述第一进行绝缘的层，所述盘(5)的外边缘与所述第一配对电极(1)的外边缘连接以形成第一压力腔(9)，‑第二进行绝缘的层(11)，通过所述第二进行绝缘的层，所述盘(5)的外边缘与所述第二配对电极(3)的外边缘连接以形成第二压力腔(9)，‑设置在所述第一配对电极(1)中的凹部(13)，通过所述设置在所述第一配对电极中的凹部，所述第一压力腔(9)能加载以第一压力(p<sub>1</sub>)，以及‑设置在所述第二配对电极(3)中的凹部(13)，通过所述设置在所述第二配对电极中的凹部，所述第二压力腔(9)能加载以第二压力(p<sub>2</sub>)，其特征在于，‑所述盘(5)通过沟槽(17)划分为充当电极的内区域(19)和通过所述沟槽(17)与所述内区域电绝缘的外区域(21)，‑所述内区域(19)包括布置在两个压力腔(9)之间的测量膜片(15)和包围所述测量膜片(15)的、在两个进行绝缘的层(7、11)的内边缘(25)之间夹紧的边缘区域(23)，并且‑所述内区域(19)与其中每个配对电极(1、3)分别形成电容器，所述电容器具有依赖于作用到所述测量膜片(15)上的在所述第一压力与所述第二压力(p<sub>1</sub>、p<sub>2</sub>)之间的压差(Δp)的电容量(C1、C3)。 | ||
| 地址 | 德国毛尔堡 | ||