压力变化测量装置以及压力变化测量方法

摘要

压力变化测量装置(1)所具有的运算处理部(30)具有：差压计算部，其根据差压计测用悬臂(4)的输出信号，求出腔室(10)的内部压力与测量对象压力的差压；测量对象压力计算部，其根据设定的腔室(10)的内部压力、与由差压计算部计算出的差压，计算测量对象压力；流量计算部，其根据由差压计算部计算出的差压，计算在腔室(10)内外流通的压力传递介质在规定的时间单位的流通量；以及内压更新部，其根据腔室(10)的容积、和由流量计算部计算出的流通量，计算规定的时间后的腔室(10)的内部压力，利用该计算出的内部压力，对在测量对象压力计算部中使用的腔室(10)的内部压力的设定值进行更新。

主权项

一种压力变化测量装置，其检测测量对象压力的时间变化，该压力变化测量装置的特征在于，具有：差压传感器，其具有由规定的容积构成的腔室、和使传递所述测量对象压力的压力传递介质在所述腔室内外流通的连通孔，输出和所述腔室的内部压力与所述测量对象压力的差压相关的输出信号；以及运算处理部，其计算所述测量对象压力的时间变化，所述运算处理部具有：差压计算部，其根据所述差压传感器的输出信号，求出所述腔室的内部压力与所述测量对象压力的差压；测量对象压力计算部，其根据设定的所述腔室的内部压力、和由所述差压计算部计算出的差压，计算所述测量对象压力；流量计算部，其根据由所述差压计算部计算出的差压，计算在所述腔室内外流通的压力传递介质在规定的时间单位的流通量；以及内压更新部，其根据所述腔室的容积、和由所述流量计算部计算出的所述流通量，计算规定的时间后的所述腔室的内部压力，利用该计算出的内部压力，对在所述测量对象压力计算部中使用的所述腔室的内部压力的设定值进行更新。