| 发明名称 | 绕射重迭标记 | ||
| 摘要 | 本发明关于绕射重迭标记，提供了一种方法和装置，用来依据高级数绕射相位测量计算重迭。实施例包含形成第一绕射图案在晶圆的第一层中；形成第二绕射图案在该晶圆的第二层中，该第二层是形成在该第一层上方；从各个该第一和第二绕射图案侦测X和Y方向的第一或更高奇数级数信号；计算各个信号的峰值；测量该X方向的该信号的峰值之间的三角数值及该Y方向的该信号的峰值之间的三角数值；以及依据该三角数值计算该第一和第二层之间的重迭。 | ||
| 申请公布号 | CN106469664A | 申请公布日期 | 2017.03.01 |
| 申请号 | CN201610701286.5 | 申请日期 | 2016.08.22 |
| 申请人 | 格罗方德半导体公司 | 发明人 | 唐明浩 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L23/544(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人 | 程伟;王锦阳 |
| 主权项 | 一种方法，包含形成第一绕射图案在晶圆的第一层中；形成第二绕射图案在该晶圆的第二层中，该第二层是形成在该第一层上方；从各个该第一和第二绕射图案侦测X和Y方向的第一或更高奇数级数信号；计算各个信号的峰值；测量该X方向的该信号的峰值之间的三角数值及该Y方向的该信号的峰值之间的三角数值；以及依据该三角数值计算该第一和第二层之间的重迭。 | ||
| 地址 | 英属开曼群岛大开曼岛 | ||