一种超纯水水箱水封装置

摘要

本实用新型提供一种超纯水水箱水封装置，包括超纯水箱水封本体以及设置于超纯水箱水封本体下端的水封下排气口、设置于超纯水箱水封本体上端的水箱排气进口；超纯水箱水封本体包括一级水箱和二级水箱，一级水箱上设置超纯水箱水封补水口以及超纯水箱水封一级排水口；二级水箱上设置超纯水箱水封二级排水口，一级水箱和二级水箱之间设置超纯水箱水封一级溢流水口，还包括正负压呼吸气管，实际使用过程中，空气都会经过二级洁净，大大降低了超纯水二次污染的概率，减轻了后端处理设备的负担，采用二级水封，保证水箱内的水质，而且在运行过程中不需要加入氮气，降低了设备的运行成本。

主权项

一种超纯水水箱水封装置，其特征在于：包括超纯水箱水封本体以及设置于超纯水箱水封本体下端的水封下排气口、设置于超纯水箱水封本体上端的水箱排气进口；所述超纯水箱水封本体包括一级水箱和二级水箱，在所述一级水箱上设置用于补充一级水箱中水量的超纯水箱水封补水口以及排水清洁的超纯水箱水封一级排水口；在所述二级水箱上设置超纯水箱水封二级排水口；所述一级水箱和二级水箱之间设置超纯水箱水封一级溢流水口；还包括连通一级水箱、用于保证一级水箱内部水压的正负压呼吸气管。