一种用于氮化铝晶体生长炉的热场

摘要

本实用新型公开了一种用于氮化铝晶体生长炉的热场，生长炉包括炉体、穿设于炉体下部的支撑杆，热场包括设于支撑杆上方的坩埚、隔热机构、设于炉体中沿竖直方向依次分布的用于对坩埚加热的多段式加热机构，隔热机构包括设于坩埚上方的第一隔热屏、设于坩埚和支撑杆之间的第二隔热屏、环设于坩埚外侧的第三隔热屏、环设于第三隔热屏和炉体内壁之间的第四隔热屏。本实用新型一种用于氮化铝晶体生长炉的热场，采用钨和氮化硼材料，有效的避免石墨热场中氧杂质和碳杂质对晶体生长的杂质影响；通过设置多段式加热机构，可以灵活调控坩埚顶端和底端的温度；通过设置活动的支撑杆，不仅方便调控晶体生长的温度梯度，而且可以方便取出坩埚，进而清理炉腔。

主权项

一种用于氮化铝晶体生长炉的热场，其特征在于：所述生长炉包括炉体、穿设于所述炉体下部的支撑杆、设于所述炉体中的支撑环，所述热场设于所述炉体中，所述热场包括：设于所述支撑杆上方的坩埚；隔热机构，所述隔热机构包括设于所述坩埚上方的第一隔热屏、设于所述坩埚和所述支撑杆之间的第二隔热屏、设于所述支撑环上的第三隔热屏和第四隔热屏，所述第三隔热屏环设于所述坩埚外侧、所述第四隔热屏环设于所述第三隔热屏和所述炉体内壁之间；设于所述炉体中沿竖直方向依次分布的用于对所述坩埚加热的多段式加热机构。