マイクロ波処理装置、プログラム

摘要

【課題】マイクロ波の照射を適切に制御することが可能なマイクロ波処理装置を提供する。【解決手段】複数の出射部１２a,１２bからマイクロ波を照射する照射部１０１a,１０１bと、複数の出射部を、個別に移動させる移動部１０２と、移動部による出射部の移動を制御する制御部１０７とを備えたマイクロ波処理装置１である。例えば、移動部は、複数のロボットアーム１０２２a、１０２２bを有しており、複数の出射部は、複数のロボットアームにそれぞれ設置されている。【選択図】図１