改进的薄型功率电感制程

摘要

一种改进的薄型功率电感制程，在基板上，通过金属屏蔽(metal mask)、溅镀制程及电镀铜制程，形成螺旋形电感线圈，再在该螺旋形电感线圈的外部印刷磁性材料配置的胶体使形成绝缘包覆层，由此形成单层功率电感；当重复上述步骤，于单层薄型功率电感的上方依序制作多层功率电感，并使该多层功率电感相互连通，即可形成连续螺旋形电感线圈。

主权项

一种改进的薄型功率电感制程，其制作步骤包括：基板处理步骤：以化学溶剂对基板表面进行处理；螺旋形电感线圈形成步骤：将一表面形成有螺旋形电感图案的金属屏蔽置于基板的上方，经由溅镀制程和电镀铜制程，于基板的上表面形成具适当厚度的螺旋形电感线圈和侧电极；且其中螺旋形电感线圈为多层，为连续螺旋形电感线圈；绝缘层形成步骤：将磁性材料配置的胶体印刷于螺旋形电感线圈的外部，以形成包覆螺旋形电感线圈的绝缘包覆层；其中每一层螺旋形电感线圈在形成后，均先形成绝缘包覆层，然后再形成上一层螺旋形电感线圈和其绝缘包覆层；每一层螺旋形电感线圈外部的绝缘包覆层在螺旋形电感线圈的末线端均形成一缺口，使上层螺旋形电感线圈的出线端得经由该缺口与下层螺旋形电感线圈的末线端相连通。