微机械结构元件和用于运行微机械结构元件的方法

摘要

本发明涉及一种微机械结构元件，具有衬底、振动质量、第一检测装置和第二检测装置，其中，衬底具有主延伸平面，第一检测装置被设置用于检测振动质量沿着基本上平行于主延伸平面的第一方向的基本上平移的第一偏移，此外，第二检测装置被设置用于检测振动质量围绕平行于与主延伸平面基本上垂直的第二方向的第一旋转轴线的基本上旋转的第二偏移。该振动质量可以构造为等臂梁，由此可检测作为旋转的加速度。该检测可以通过电容式传感器实现。

主权项

微机械结构元件(1)，具有衬底(2)、振动质量(3)、第一检测装置(4)和第二检测装置(5)，其中，所述微机械结构元件(1)包括一个加速度传感器，其中，所述衬底(2)具有主延伸平面(100)，所述第一检测装置(4)被设置用于检测所述振动质量(3)沿着基本上平行于所述主延伸平面(100)的第一方向(14’)的基本上平移的第一偏移(14)，其特征在于，所述第二检测装置(5)被设置用于检测所述振动质量(3)围绕平行于与所述主延伸平面(100)基本上垂直的第二方向(15’)的第一旋转轴线(15”)的基本上旋转的第二偏移(15)，所述微机械结构元件(1)具有第三检测装置(6)，所述第三检测装置用于检测所述振动质量(3)围绕平行于与所述主延伸平面(100)基本上平行的第三方向(16’)的第二旋转轴线(16”)的基本上旋转的第三偏移(16)，其中，所述第一、第二和第三方向(14’，15’，16’)相互垂直地定向，其中，所述振动质量(3)关于一个与第一旋转轴线(15”)相交并且平行于第三方向(16’)延伸的线(112)具有非对称的质量分布，其中，弹簧元件在第三偏移运动期间围绕所述第二旋转轴线扭转，所述振动质量通过所述弹簧元件与所述衬底连接。