| 发明名称 | 集成有运动传感器的纳米探针N/MEMS装置、方法和应用 | ||
| 摘要 | 本申请公开了一种多尖端纳米探针装置，和一种在使用多尖纳米探针装置的同时用于探测样品的方法，其均使用位于衬底上的：(1)相对于衬底的不可移动的探针尖端；(2)相对于衬底的可移动的探针尖端；以及(3)与可移动的探针尖端耦接的运动传感器。由于运动传感器与可移动的探针尖端的紧密耦接以及可移动探针尖端相对于不可移动探针尖端的可缩进性，这种多尖端纳米探针装置和相关方法提供了改进的样品探测。 | ||
| 申请公布号 | CN104105655B | 申请公布日期 | 2017.03.01 |
| 申请号 | CN201280068948.X | 申请日期 | 2012.12.17 |
| 申请人 | 康奈尔大学 | 发明人 | A·拉尔;K·阿姆庞萨 |
| 分类号 | B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I;G01N37/00(2006.01)I;G01B21/30(2006.01)I;G01Q70/00(2006.01)I | 主分类号 | B81B3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京万慧达知识产权代理有限公司 11111 | 代理人 | 戈晓美;杨颖 |
| 主权项 | 一种探针装置，包括：衬底；位于所述衬底上方的至少一个可移动的探针尖端，所述至少一个可移动的探针尖端能够相对于所述衬底移动；以及位于所述衬底上方的至少一个运动传感器，所述至少一个运动传感器包括与至少一个弹簧可操作地耦接的至少一个场效应器件，所述至少一个运动传感器通过至少一个弹簧与所述至少一个可移动的探针尖端静电地且机械地相耦接。 | ||
| 地址 | 美国纽约州 | ||