| 发明名称 | 基座及基质加工设备 | ||
| 摘要 | 基座包括板状部件、用于加热所述板状部件的第一部的第一加热器、用于加热所述板状部件的第二部的第二加热器以及用于使所述第一部和所述第二部在所述板状部件的上表面侧彼此绝热的绝热部。 | ||
| 申请公布号 | CN106469666A | 申请公布日期 | 2017.03.01 |
| 申请号 | CN201610607367.9 | 申请日期 | 2016.07.28 |
| 申请人 | ASM IP 控股有限公司 | 发明人 | 森幸博;梅尔文·韦尔巴斯 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人 | 翟国明 |
| 主权项 | 一种基座，包括：板状部件；第一加热器，其用于加热所述板状部件的第一部；第二加热器，其用于加热所述板状部件的第二部；以及绝热部，其用于使所述第一部和所述第二部在所述板状部件的上表面侧彼此绝热。 | ||
| 地址 | 荷兰阿尔梅勒 | ||