发明名称 用于保护微‑电子‑机械系统的设备和方法
摘要 一种用于微‑电子‑机械系统的保护盖以及相关方法,其中所述系统具有超声换能器和邻近所述换能器的保护盖,并且具有小于或等于3g/sm的质量/面积比。
申请公布号 CN106471821A 申请公布日期 2017.03.01
申请号 CN201580036170.8 申请日期 2015.07.07
申请人 W.L.戈尔及同仁股份有限公司 发明人 A·J·霍利达
分类号 H04R19/00(2006.01)I 主分类号 H04R19/00(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 胡嘉倩;江磊
主权项 一种保护具有超声换能器的微‑电子‑机械系统的方法,所述方法包括邻近所述超声换能器设置质量/面积比为约3g/m<sup>2</sup>或更小的膨胀型聚四氟乙烯(PTFE)膜的步骤。
地址 美国特拉华州