发明名称 |
钝化层形成用组合物、带钝化层半导体基板及制法、太阳能电池元件及制法及太阳能电池 |
摘要 |
本发明提供包含下述通式(I)所示的化合物和水的第1钝化层形成用组合物及包含下述通式(I)所示的化合物的水解物的第2钝化层形成用组合物。通式(I):M(OR<sup>1</sup>)<sub>m</sub>[通式(I)中,M表示选自Al、Nb、Ta、VO、Y及Hf中的至少1种。R<sup>1</sup>分别独立地表示烷基或芳基。m表示1~5的整数]。 |
申请公布号 |
CN106471626A |
申请公布日期 |
2017.03.01 |
申请号 |
CN201580035295.9 |
申请日期 |
2015.07.02 |
申请人 |
日立化成株式会社 |
发明人 |
早坂刚;吉田诚人;野尻刚;仓田靖;田中彻;森下真年;儿玉俊辅 |
分类号 |
H01L31/0216(2014.01)I;H01L21/316(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0216(2014.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
葛凡 |
主权项 |
一种钝化层形成用组合物,其包含下述通式(I)所示的化合物和水,M(OR<sup>1</sup>)<sub>m</sub> (I)通式(I)中,M表示选自Al、Nb、Ta、VO、Y及Hf中的至少1种,R<sup>1</sup>分别独立地表示烷基或芳基,m表示1~5的整数。 |
地址 |
日本东京都 |