兼容的研磨垫以及研磨模块

摘要

研磨设备包括外壳、耦接至该外壳的柔性底座、以及设置于该柔性底座的第一侧上的接触区域，其中该柔性底座基于该外壳与该柔性底座的第二侧内含有的压力而膨胀和收缩，以于该第一侧形成接触面积，该接触面积小于该柔性底座的表面面积。

主权项

一种研磨设备，所述研磨设备包含：外壳；柔性底座，所述柔性底座耦接至所述外壳；以及接触区域，所述接触区域设置于所述柔性底座的第一侧上，其中所述柔性底座基于所述外壳与所述柔性底座的第二侧内所含有的压力而膨胀和收缩，以便在所述第一侧上形成接触面积，所述接触面积小于所述柔性底座的表面面积。