方案ID管理服务器、方案ID管理系统以及终端装置

摘要

方案ID管理服务器(20)具备部分ID保持部(202)、方案ID保持部(203)、部分ID发送部(205)、重复判定部(206)、使用可否通知部(207)。部分ID发送部(205)在从终端装置接收到部分ID请求的情况下，从部分ID保持部(202)读出作为方案ID的一部分的部分ID并发送至终端装置。重复判定部(206)判定与由终端装置制作的方案ID相同的方案ID是否被保持于方案ID保持部(203)。使用可否通知部(207)在与由终端装置制作的方案ID相同的方案ID没有被保持于方案ID保持部(203)的情况下，向终端装置通知允许使用方案ID，并使由终端装置制作的方案ID保持于方案ID保持部(203)。

主权项

一种方案ID管理服务器，其特征在于，具备：部分ID保持部，其保持作为方案ID的一部分的根据预先决定的命名规则制作的部分ID，所述方案ID用于识别记述了由基板处理装置进行的处理的方案；方案ID保持部，其保持由用户操作的终端装置制作的方案ID；部分ID发送部，其在从所述终端装置接收到部分ID请求的情况下，从所述部分ID保持部读出所述部分ID，将读出的部分ID发送至所述终端装置；重复判定部，其在接收到由所述终端装置制作的方案ID的情况下，判定相同的方案ID是否已经被保持于所述方案ID保持部；以及使用可否通知部，其在所述相同的方案ID没有被保持于所述方案ID保持部的情况下，向所述终端装置通知允许使用由所述终端装置制作的方案ID；在所述相同的方案ID已经被保持于所述方案ID保持部的情况下，向所述终端装置通知不允许使用由所述终端装置制作的方案ID；并且所述使用可否通知部使由所述终端装置制作的方案ID保持于所述方案ID保持部。