发明名称 |
封装结构及其形成方法 |
摘要 |
实施例是方法,所述方法包括形成第一封装件。形成第一封装件包括邻近第一管芯形成穿孔,使用密封剂至少横向地密封第一管芯和穿孔,以及在第一管芯、穿孔和密封剂上方形成第一再分布结构。形成第一再分布结构包括在穿孔上形成第一通孔,以及在第一通孔上形成第一金属化图案,所述第一金属化图案的至少一个侧壁直接位于穿孔上面。本发明实施例涉及封装结构及其形成方法。 |
申请公布号 |
CN106469661A |
申请公布日期 |
2017.03.01 |
申请号 |
CN201610595174.6 |
申请日期 |
2016.07.26 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
余振华;苏安治 |
分类号 |
H01L21/56(2006.01)I;H01L23/485(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/56(2006.01)I |
代理机构 |
北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 |
代理人 |
章社杲;李伟 |
主权项 |
一种方法,包括:形成第一封装件,形成所述第一封装件包括:邻近第一管芯形成穿孔;利用密封剂至少横向地密封所述第一管芯和所述穿孔;在所述第一管芯、所述穿孔和所述密封剂上方形成第一再分布结构,形成所述第一再分布结构包括:在所述穿孔上形成第一通孔;以及在所述第一通孔上形成第一金属化图案,所述第一金属化图案的至少一个侧壁直接位于所述穿孔的上面。 |
地址 |
中国台湾,新竹 |