发明名称 封装结构及其形成方法
摘要 实施例是方法,所述方法包括形成第一封装件。形成第一封装件包括邻近第一管芯形成穿孔,使用密封剂至少横向地密封第一管芯和穿孔,以及在第一管芯、穿孔和密封剂上方形成第一再分布结构。形成第一再分布结构包括在穿孔上形成第一通孔,以及在第一通孔上形成第一金属化图案,所述第一金属化图案的至少一个侧壁直接位于穿孔上面。本发明实施例涉及封装结构及其形成方法。
申请公布号 CN106469661A 申请公布日期 2017.03.01
申请号 CN201610595174.6 申请日期 2016.07.26
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 余振华;苏安治
分类号 H01L21/56(2006.01)I;H01L23/485(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I 主分类号 H01L21/56(2006.01)I
代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人 章社杲;李伟
主权项 一种方法,包括:形成第一封装件,形成所述第一封装件包括:邻近第一管芯形成穿孔;利用密封剂至少横向地密封所述第一管芯和所述穿孔;在所述第一管芯、所述穿孔和所述密封剂上方形成第一再分布结构,形成所述第一再分布结构包括:在所述穿孔上形成第一通孔;以及在所述第一通孔上形成第一金属化图案,所述第一金属化图案的至少一个侧壁直接位于所述穿孔的上面。
地址 中国台湾,新竹