| 发明名称 | 硬质涂层及其形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种硬质涂层及其形成方法，该方法包括以下步骤：洗涤基板；在真空设备中安装经过洗涤的所述基板，并将所述真空设备内部做成真空；清洁所述基板；在所述基板上以斜角形成斜角涂层；以及在形成所述斜角涂层之后，施加偏压，以与所述基板垂直的方向在所述斜角涂层上形成垂直涂层。本发明通过以斜角和垂直形成硬质涂层，从而使得硬质涂层具有高硬度的机械物理性质。 | ||
| 申请公布号 | CN103184414B | 申请公布日期 | 2017.03.01 |
| 申请号 | CN201210118716.2 | 申请日期 | 2012.04.20 |
| 申请人 | 浦项产业科学研究院 | 发明人 | 梁智勋;郑在仁 |
| 分类号 | C23C14/22(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;B32B9/04(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/22(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 周艳玲;罗正云 |
| 主权项 | 一种硬质涂层的形成方法，包括以下步骤：洗涤基板；在真空设备中安装经过洗涤的所述基板，并将所述真空设备的内部做成真空；清洁所述基板；直接在所述基板上以斜角形成斜角涂层；以及在形成所述斜角涂层之后，施加偏压，以与所述基板垂直的方向在所述斜角涂层上形成垂直涂层，其中所述垂直涂层的硬度超过30GPa。 | ||
| 地址 | 韩国庆尚北道 | ||