基于三个或更多个状态的功率和频率的调节

摘要

本发明涉及基于三个或更多个状态的功率和频率的调节，具体描述了用于根据三个或更多个状态调节功率和频率的系统和方法。所述方法中的一个包括：接收具有多个状态的脉冲信号。通过多个射频（RF）产生器接收所述脉冲信号。当接收到具有第一状态的所述脉冲信号时，由第一RF产生器产生具有预先设定的功率电平的RF信号以及由第二RF产生器产生具有预先设定的功率电平的RF信号。此外，当接收到具有第二状态的所述脉冲信号时，由所述第一和第二射频产生器产生具有预先设定的功率电平的RF信号。此外，当接收到具有第三状态的所述脉冲信号时，由所述第一和第二射频产生器产生具有预先设定的功率电平的RF信号。

主权项

一种等离子体处理系统，其包括主产生器，其包括三个主功率控制器，所述主功率控制器中的每个配置有预定义的功率设置；从产生器，其包括三个从功率控制器，所述从功率控制器中的每个配置有预定义的功率设置；以及控制电路，其作为输入连接到所述主产生器和所述从产生器中的每一个，所述控制电路被配置为产生脉冲信号，所述脉冲信号被定义为包括定义所述脉冲信号的周期的三个状态，所述周期在所述脉冲信号的多个周期的操作过程中进行重复，所述三个状态中的每个状态被定义以在所述三个主功率控制器中的第一、第二和第三个中进行选择，同时也在所述三个从功率控制器中的第一、第二和第三个中进行选择。