感光性树脂组合物、感光性干膜及图案形成方法

摘要

本发明涉及一种感光性树脂组合物，其包含：将包含具有酚性羟基的单体(a)的单体混合物进行聚合而得的乙烯基系聚合物(I)；将包含含有羧基的乙烯基系单体(b)的单体混合物进行聚合而得的、质均分子量为20,000～100,000的乙烯基系聚合物(II)(其中，上述乙烯基系聚合物(I)除外)；醌二叠氮化合物(III)；以及下述式(5)所示的化合物(IV)。［式中，Y为碳原子数1～6的烃基；l和m分别为1～3的整数；n为1或2；p和q分别为0或1］。

主权项

一种感光性树脂组合物，其包含：将单体混合物进行聚合而得的乙烯基系聚合物I，所述单体混合物包含具有酚性羟基的单体a和含有羧基的乙烯基系单体b，所述单体b的比例在单体的合计加入量100摩尔％中为10～30摩尔％；将包含含有羧基的乙烯基系单体b的单体混合物进行聚合而得的、质均分子量为20,000～100,000的乙烯基系聚合物II，其中，所述乙烯基系聚合物I除外；醌二叠氮化合物III；以及化合物IV，所述化合物IV为选自由下述式(5－1)和下述式(5－2)所示的化合物所组成的组中的至少1种化合物，所述化合物IV的含有比例相对于乙烯基系聚合物I和乙烯基系聚合物II的合计100质量份为0.5～10质量份，所述单体a为下述式(1)所示的单体a1、下述式(2)所示的单体a2或下述式(3)所示的单体a3，R¹～R⁵各自独立地为氢原子、羟基、碳原子数1～24的烷基、碳原子数1～24的芳基或碳原子数1～24的芳烷基，R¹～R⁵中的至少1个为羟基，X为氧原子或NH。