具有改进的通带特性的横向耦合式体声波滤波器

摘要

本发明涉及一种横向耦合式体声波(LBAW)滤波器(70)，其包括：用于携带体声波的振动层(73)；电极装置(71,72,74)，其包括：耦合于振动层(73)的第一电极(71)，用以激发至振动层(73)的至少一个具有第一频带的纵波模式和一个具有第二频带的剪切波模式，和耦合于振动层的第二电极(72)，用以感应滤波通过信号，其中第一和第二电极(71,72)相对于彼此横向地设置；与振动层(73)声学连接的声学反射器结构(75)。根据本发明，反射器结构(75)适于在第一频带处、比在第二频带处更有效地将振动层(73)与其周围环境声学隔离，从而在第二频带处抑制剪切波模式对滤波通过信号的影响。本发明有助于改善LBAW滤波器通带的质量。

主权项

一种横向耦合式体声波滤波器，包括：‑用于携带体声波的振动层，‑电极装置，其包括：耦合于所述振动层的第一电极，用以激发至所述振动层的至少一个具有第一频带的纵波模式和一个具有第二频带的剪切波模式，和耦合于所述振动层的第二电极，用以感应滤波通过信号，其中所述第一和第二电极相对于彼此横向设置，‑与所述振动层声学连接的声学反射器结构，‑所述反射器结构包括声学阻抗层的堆叠，其中，‑所述堆叠中最靠近振动层的最上层的厚度大于四分之一波长纵向反射器结构中相应层的计算层厚度，所述四分之一波长纵向反射器结构的反射率针对所述第二频带而处于最高，‑所述最上层下方的堆叠中的层中至少一层的厚度小于所述四分之一波长纵向反射器结构中相应层的计算层厚度，所述四分之一波长纵向反射器结构的反射率针对所述第二频带而处于最高。