阴影掩模组件

摘要

本发明涉及一种阴影掩模组件，其包括被配置用于保持衬底的固定组件，该衬底被配置成保持多个管芯。固定组件包括多个定位销和阴影掩模，该阴影掩模包括用于定位销的孔，这些孔允许定位销在一个方向上具有移动自由度。固定组件包括多个嵌入式磁铁，该嵌入式磁铁被配置成将阴影掩模与固定组件相固定。

主权项

一种阴影掩模组件，包括：固定组件，被配置成保持衬底，所述衬底被配置成保持多个管芯，所述固定组件包括：上夹具和下夹具，其中，所述上夹具和所述下夹具中的至少一个包括多个定位销，并且所述上夹具固定在所述下夹具上；以及阴影掩模固定在所述上夹具上使得所述上夹具夹于所述下夹具与所述阴影掩模之间，所述阴影掩模包括用于所述定位销的孔，所述孔允许所述定位销在一个方向上具有移动自由度；其中，所述固定组件包括多个嵌入式磁铁，所述嵌入式磁铁被配置成将所述阴影掩模与所述固定组件相固定。