有机层沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法

摘要

本发明公开了一种有机层沉积设备、一种有机发光显示装置和一种利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法。所述有机层沉积设备包括：静电吸盘，固定地支撑作为沉积目标的基板；沉积单元，包括保持一定真空的室以及有机层沉积组件，有机层沉积组件用来在由静电吸盘固定地支撑的基板上沉积有机层；第一输送器单元，用来将固定地支撑基板的静电吸盘移动到沉积单元中，其中，第一输送器单元穿过室的内部，第一输送器单元包括引导单元，引导单元具有接纳构件，用来使静电吸盘可沿着一定的方向移动。

主权项

一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括：静电吸盘，用来支撑基板；沉积单元，包括用来保持一定真空的室以及有机层沉积组件，有机层沉积组件用来在由静电吸盘支撑的基板上沉积至少一层有机层；以及第一输送器单元，穿过所述室并且用来将支撑基板的静电吸盘移动到沉积单元中，其中，第一输送器单元包括引导单元，引导单元包括接纳构件、用来产生移动静电吸盘的驱动力的驱动单元以及用来使静电吸盘悬浮在接纳构件上方而不与接纳构件接触地移动的磁悬浮轴承，以使在静电吸盘与第一输送器单元分隔开的同时使静电吸盘能够沿着一定的方向移动，其中，基板与有机层沉积组件分隔开，基板或有机层沉积组件被构造成在沉积过程中相对于另一者移动，其中，接纳构件包括：第一接纳构件；第二接纳构件，位于第一接纳构件上；连接构件，将第一接纳构件和第二接纳构件连接到彼此，从而使接纳构件容纳静电吸盘的一侧，使静电吸盘的下表面暴露到有机层沉积组件，以及使静电吸盘的上表面在与有机层沉积组件背对的方向上暴露。