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MEMS-Lautsprecher 1 zum Erzeugen von Schallwellen im hörbaren Wellenlängenspektrum mit einer Leiterplatte 10, einer gegenüber der Leiterplatte 10 entlang einer z-Achse auslenkbaren Membran 2, zumindest einem piezoelektrischen Aktuator 7 zum Auslenken der Membran 2 und einer vollständig in der Leiterplatte 10 eingebetteten elektronischen Steuereinheit 11 zum Ansteuern des Aktuators 7, insbesondere einem ASIC 40. Erfindungsgemäß weist der MEMS-Lautsprecher 1 zumindest einen Positionssensor 19 auf, mittel dem der Steuereinheit 11 ein von der Membranauslenkung abhängiges Sensorsignal bereitstellbar ist. Die Steuereinheit ist ausgebildet, um den Aktuator basierend auf dem Sensorsignal geregelt anzusteuern. |
