一种解决基板搬送小车通用性的控制方法

摘要

本发明涉及真空镀膜领域，尤其是一种解决基板搬送小车通用性的控制方法，其特征在于：所述控制方法至少包括以下步骤：在机械臂的抓取位置之前安装光纤传感器，所述光纤传感器测量所述基板搬送小车的原点位置与其安装位置之间的距离；将该距离与所述基板搬送小车的原点位置和所述光纤传感器的安装位置之间的基准距离进行比较，计算差值；利用所述差值对所述基板搬送小车所搬送的基板的坐标进行补偿修正。本发明的优点是：通过对基板搬送小车的前后位置进行检测实现运料小车的共用性，提高搬送位置的准确性，降低搬运故障率，电气设计增加对运料小车前后位置检测，通过软件进行运料小车自动位置补偿并实时更新位置坐标，解决运料小车共用性问题。

主权项

一种解决基板搬送小车通用性的控制方法，所述基板搬送小车用于将基板搬送到机械臂的抓取位置处，其特征在于：所述控制方法至少包括以下步骤：在机械臂的抓取位置之前安装光纤传感器，所述光纤传感器用于发出开关量信号至一控制器，所述控制器通过记录所述基板搬送小车从原点位置至所述光纤传感器的安装位置时其马达的坐标变化来计算所述基板搬送小车的行驶距离；将该距离与所述基板搬送小车的原点位置和所述光纤传感器的安装位置之间的基准距离进行比较，计算差值；利用所述差值对所述基板搬送小车所搬送的基板的坐标进行补偿修正；所述基准距离是通过测量一基准小车与所述光纤传感器的安装位置之间的距离来得到的，所述基准小车是指一符合设计图纸要求尺寸误差并在当前机台搬送正常的基板搬送小车。