多束光合成聚焦控制系统及控制方法

摘要

本发明提供一种多束光合成聚焦控制系统及控制方法，该系统包括工控机，通过AT总线分别连接可控分布接口卡和双路电隔离接口卡；至少一激光器控制装置，包括至少两激光驱动器器；激光驱动器输入端均连接可控分布接口卡，输出端均连接激光器；至少一偏转总成控制装置，包括至少一偏转驱动器，偏转驱动器的输入端均连接双路电隔离接口卡，输出端均连接偏转电机。本发明的技术方案能提高激光毛化的加工速度，同时实现高能量密度的毛化加工和微坑组内的无规则分布。

主权项

一种多束光合成聚焦控制系统，其特征在于，包括：工控机，通过AT总线分别连接可控分布接口卡和双路电隔离接口卡；至少一激光器控制装置，包括至少两激光驱动器；所述激光驱动器的输入端均连接所述可控分布接口卡，每个所述激光驱动器的输出端均连接激光器；所述激光驱动器根据所述工控机的激光指令控制与之连接的所述激光器的工作状态和工作参数；每个激光驱动器接收所述激光指令控制激光器发射光束，发射光束经多束光合成聚集装置中的反射镜改变方向后通过同一聚焦透镜会聚，能在位于其焦平面上的辊面上形成微坑组；激光指令用于控制每个发射光束的能量、发射时间和发射频率，在辊面上同时或分时产生微坑组；至少一偏转总成控制装置，包括至少一偏转驱动器，所述偏转驱动器的输入端均连接所述双路电隔离接口卡，所述偏转驱动器的输出端均连接一安装有用于改变上述激光器发出的光束方向的反射镜的偏转电机；所述偏转驱动器用于根据所述工控机的偏转指令控制与其连接的偏转电机的转动角度，进而控制所述反射镜的角度；偏转驱动器接收偏转指令控制偏转电机的转动角度，进而控制安装在偏转电机上的反射镜的角度，改变各束光的相对位置，最终达到控制光斑间距的目的，使得微坑组内的坑间距实时可控。