发明名称 |
自锁式真空舱门启闭装置 |
摘要 |
本发明涉及一种自锁式真空舱门启闭装置,包含:一框架、一驱动缸、一横杆、至少一第一杆件、至少一旋动杆件、至少一调整座、至少一第二杆件、至少一滑动块以及至少一阀杆,上述该等组件相互枢接以形成连杆组机构,且该阀杆可供连接于一真空舱的阀门;藉此,该驱动缸可带动上述组件产生连杆动作,以使阀杆带动阀门于一开启位置以及一闭锁位置间切换,并于该闭锁位置时自动产生一锁固力量,以抵抗阀门的反向作用力,防止阀门因驱动缸动力不足等因素,而造成真空舱失去真空密闭的意外。 |
申请公布号 |
CN104612488B |
申请公布日期 |
2017.03.01 |
申请号 |
CN201310541062.9 |
申请日期 |
2013.11.05 |
申请人 |
新莱应材科技有限公司 |
发明人 |
蔡环宇 |
分类号 |
E05B51/02(2006.01)I;E05F15/50(2015.01)I |
主分类号 |
E05B51/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京天平专利商标代理有限公司 11239 |
代理人 |
孙刚 |
主权项 |
一种自锁式真空舱门启闭装置,其特征在于包含:一框架,其为以一座体、两侧框及一边框所组成的中空框体;一驱动缸,其设置于该座体处,且具有一可活动伸出缩入的驱动轴;一横杆,其设置于该驱动轴的一端处;至少一第一杆件,其一端枢接于该横杆的一端处;至少一旋动杆件,其上设有呈三角形分布的第一枢孔、第二枢孔及第三枢孔,其中,该第一枢孔供第一杆件相对于横杆的另一端枢接;至少一调整座,其连接于该边框处,以枢接于该第二枢孔;至少一第二杆件,其一端枢接于第三枢孔;至少一滑动块,其可滑动地设置于该侧框处,并与该第二杆件相对于第三枢孔的另一端枢接;以及至少一阀杆,该阀杆一端连接于该滑动块,另一端连接于一真空舱的一阀门以使阀杆带动该阀门于一开启位置以及一闭锁位置间切换。 |
地址 |
中国台湾新竹县 |