发明名称 |
一种电热致动器及其形成方法 |
摘要 |
本申请公开了一种电热致动器及其形成方法,在SOI的预设区域上蒸镀金属层,采用标准的半导体加工技术,将SOI的顶层硅加工成V字型结构的电热致动器,V字型结构的两端固定,V字型结构的内角部分与纳米线的固定端相对的活动端连接,且与纳米线一体成型。给电热致动器表面金属通电流,电流产生焦耳热使电热致动器温度升高产生热膨胀,由于电热致动器的两端固定,这样膨胀就会使得其尖端有平行于结构平面向外的移动,由此产生的位移与力将电热致动器和纳米线拉断形成一个裂结。通过在一个SOI加工多个电热致动器,然后对这多个电热致动器的表面金属同时通电流,就可以在一次实验中形成多个裂结,从而解决了量产过程时间浪费的问题。 |
申请公布号 |
CN104538544B |
申请公布日期 |
2017.03.01 |
申请号 |
CN201510020763.7 |
申请日期 |
2015.01.15 |
申请人 |
中国科学技术大学 |
发明人 |
孟超;黄璞;周经纬;杜江峰 |
分类号 |
H01L41/08(2006.01)I;H01L41/332(2013.01)I |
主分类号 |
H01L41/08(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
王宝筠 |
主权项 |
一种电热致动器,其特征在于,所述电热致动器为一体成型的V字型结构,所述V字型结构的两端固定,所述V字型结构的内角部分与纳米线的固定端相对的活动端连接,且与所述纳米线一体成型,并使所述V字型结构和所述纳米线均悬空,其中,所述V字型结构的表面金属镀层与所述纳米线的材料相同,所述V字型结构的主体由硅制成。 |
地址 |
230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号 |