可折叠衬底

摘要

提供了一种可折叠衬底，该可折叠衬底包括具有第一上表面的第一衬底部分和具有第二上表面的第二衬底部分。可折叠桥接部将第一衬底部分接合至第二衬底部分。所述可折叠桥接部包括从第一衬底部分延伸至第二衬底部分的接合带，以及与接合带的一部分对应的间隙，其中所述间隙通过去除原始晶圆衬底的复数个部分而被限定在第一衬底部分和第二衬底部分之间。在一个实施方式中，所述第一和第二部分包括磁场传感器，并且可折叠桥接部能够被弯曲从而以相对于彼此的预定角度布置所述两个部分。一旦被弯曲，传感器封装就能够被合并至磁场传感器组件中以便与其它控制电路相集成。

主权项

一种可折叠衬底，其包括：包括第一上表面的第一衬底部分；包括第二上表面的第二衬底部分；以及将第一衬底部分接合至第二衬底部分的可折叠桥接部，其中可折叠桥接部包括：从第一衬底部分延伸至第二衬底部分的接合带；以及与所述接合带的一部分对应并且被限定在第一和第二衬底部分之间的间隙，其中第一和第二衬底部分来自同一个单一半导体晶圆衬底，所述可折叠衬底还包括：设置在第一表面上的第一电路；和设置在第二表面上的第二电路，其中，可折叠桥接部还包括：从第一衬底部分延伸至第二衬底部分的第一绝缘层；以及从第一衬底部分延伸至第二衬底部分的第二绝缘层，其中，所述接合带被设置在所述第一绝缘层的一段上，和其中，所述第二绝缘层被设置在所述接合带的一段上，其中，第二电路包括穿过第二绝缘层中的开口可触及的至少一个接触垫。