用于确定集成电路封装的共面性的方法和装置

摘要

用于确定在衬底上的三维特征的共面性的方法和装置，该装置包含：一个支承件，用于在对象平面中的待要被检验的对象；一个光源，用于照射所述对象；第一图像捕捉设备，具有第一传感器和第一可倾斜透镜；第二图像捕捉设备，具有第二传感器和第二可倾斜透镜；以及一个图像处理器，用于确定共面性。每个可倾斜透镜都相对于其传感器从第一可变角度可移动到第二可变角度，以使得对应的透镜平面和其传感器平面按照Scheimpflug原理基本相交于所述对象平面处，且对应的图像在整个视野上是对焦的且具有均匀的光强度。

主权项

一种用于确定一个对象的衬底上的三维特征的共面性的装置，包含:一个支承件，用于待要被检验的对象，其中该对象具有一个对象平面；一个光源，用于照射待要被检验的对象；第一图像捕捉设备，包含第一传感器和第一可倾斜透镜，该第一传感器具有第一传感器平面，该第一可倾斜透镜具有第一透镜平面，所述第一图像捕捉设备相对于所述对象平面以第一立体视角被安装，以捕捉被照射的对象的第一侧视图图像；所述第一传感器和所述第一可倾斜透镜安装在第一支架上,所述第一支架将所述第一传感器保持在一固定位置，同时允许所述第一可倾斜透镜相对于所述第一传感器平面从第一可变角度移动到第二可变角度；第二图像捕捉设备，包含第二传感器和第二可倾斜透镜，该第二传感器具有第二传感器平面，该第二可倾斜透镜具有第二透镜平面，所述第二图像捕捉设备相对于所述对象平面以第二立体视角被安装，以捕捉被照射的对象的第二侧视图图像；所述第二传感器和所述第二可倾斜透镜安装在第二支架上,所述第二支架将所述第二传感器保持在一固定位置，同时允许所述第二可倾斜透镜相对于所述第二传感器平面从第一可变角度移动到第二可变角度；以及一个图像处理器，用于处理由所述第一图像捕捉设备捕捉的所述第一侧视图图像和由所述第二图像捕捉设备捕捉的所述第二侧视图图像，以确定在所述衬底上的所述三维特征的共面性，其中所述第一可倾斜透镜相对于所述第一传感器平面从第一可变角度可移动到第二可变角度，以使得所述第一传感器平面和所述第一透镜平面按照Scheimpflug原理基本相交于所述对象平面处，且经过所述对象的中心、所述第一可倾斜透镜的中心和所述第一传感器的中心的直线垂直于所述第一传感器平面，且其中所述第二可倾斜透镜相对于所述第二传感器平面从第一可变角度可移动到第二可变角度，以使得所述第二传感器平面和所述第二透镜平面按照Scheimpflug原理基本相交于所述对象平面处，且经过所述对象的中心、所述第二可倾斜透镜的中心和所述第二传感器的中心的直线垂直于所述第二传感器平面。